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关于陶瓷机械臂的应用你了解多少?
来源: 发布时间:2023-02-09 点击量:309
陶瓷端执行器(陶瓷机械臂)用于在半导体工艺的整个生产过程中操作和携带硅片。它能够处理大尺寸的晶圆,并可设计有真空通道,以便携带该部件。
末端执行器(陶瓷机械手)构成机械臂的顶部,在位置之间处理和移动半导体晶圆。它基本上是机器人的手,所以它的热稳定性和尺寸稳定性很重要,不会让颗粒或化学污染物污染房间。
深圳方泰新材使用精细陶瓷材料制造半导体陶瓷臂,以增强功能,减少对晶圆/玻璃面板的损坏,并阻止污染蔓延。
耐热、耐高温
陶瓷搬运臂具有优异的耐高温能力。陶瓷搬运臂常在高温环境下使用。
耐磨、耐硬度
陶瓷搬运臂比金属搬运臂具有更好的耐磨性。陶瓷搬运臂硬度(莫氏硬度)可达9,HRA 80 - 90。陶瓷搬运臂的硬度不是仅次于金刚石,而是远远超过钢和铬钢的耐磨性。
Fountyl提供的陶瓷机械臂主要分为:夹紧型、承重型、真空吸附型。
支撑陶瓷材料有:氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅等。
尺寸有:2",4",6",8",12",非标尺寸可定做。
伟德·国际1946源于英国主要生产真空吸盘有:陶瓷真空吸盘,陶瓷吸附平台,陶瓷真空卡盘,微孔陶瓷真空吸盘,陶瓷夹头联系方式0755-27826396,欢迎随时前来咨询
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