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多孔陶瓷吸附平台在半导体行业中的用途

来源: 发布时间:2023-04-17 点击量:285

  多孔陶瓷吸附平台用于半导体工业中,以在机器中精确定位晶圆。


  通过使用陶瓷材料,可以实现小于1微米的平整度。


  多孔陶瓷吸附平台通常用于在晶圆被探测(测试)时将晶圆固定在适当的位置。大多数晶片是通过在晶片背面施加少量真空来固定的。大多数分析探测系统配备有多孔陶瓷吸附平台。


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